[发明专利]带台面终端的金刚石肖特基势垒二极管器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202010236010.0 | 申请日： | 2020-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN111446303A | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 郁鑫鑫;周建军;孔岑;孔月婵 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | H01L29/872 | 分类号： | H01L29/872;H01L21/04;H01L29/06 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 姜慧勤 |
| 地址： | 210016 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了带台面终端的金刚石肖特基势垒二极管器件及其制备方法，通过对样品的清洁处理，背面欧姆接触金属层的制备及合金处理，肖特基电极的制备，漂移层的刻蚀，刻蚀损伤修复，钝化介质沉积，介质孔刻蚀，上述过程得到二极管器件。本发明针对现有金刚石肖特基势垒二极管器件，肖特基接触电极边缘电场高导致器件耐压降低的问题，以肖特基电极为掩模对漂移层进行刻蚀，实现肖特基电极和刻蚀后漂移层的自对准，开发了带有台面终端的金刚石肖特基势垒二极管器件制备技术，具有肖特基电极和刻蚀后的漂移层自对准，边缘峰值电场抑制能力强，反向漏电低，抗辐照能力强等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 台面 终端 金刚石 肖特基势垒二极管 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第五十五研究所，未经中国电子科技集团公司第五十五研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010236010.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
