[发明专利]一种用于核辐射粒子探测的异质结晶体管探测器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种用于核辐射粒子探测的异质结晶体管探测器及其制备方法，该器件包括自上到下依次设置的上电极层、ZnO膜层、p‑Si膜层、高阻n‑Si层、n+‑Si层和底电极层，所述ZnO膜层采用射频磁控溅射方法制备。本发明提出的异质结晶体管探测器采用在硅PIN结构的基础上增加宽禁带半导体ZnO层，形成异质结NPN结构的晶体管探测器，利用异质结晶体管的放大作用提高探测器灵敏度和输出信号幅度，具有高增益、低暗电流、线性动态范围较大和成本低等优点。