[发明专利]开尔文探针力显微镜系统及样品侧壁扫描方法有效
| 申请号： | 202010238378.0 | 申请日： | 2020-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN111398638B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 谢晖;张号;耿俊媛;孟祥和;宋健民 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01Q60/30 | 分类号： | G01Q60/30;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 张利明 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 基于正交探针的开尔文探针力显微镜系统及样品侧壁扫描方法，属于开尔文探针力显微镜测量技术领域。本发明是为了解决现有开尔文探针力显微镜不能实现半导体元器件上微纳三维结构的侧壁表面形貌和表面电势的测量的问题。它设计了新的正交探针结构，然后利用正交探针的扭转信号测量具有微纳米级三维结构样品侧壁的表面形貌和局部表面电势；方法中步骤一实现样品侧壁表面形貌的测量，步骤二和步骤三实现样品侧壁表面电势的测量，步骤四实现样品侧壁表面的成像测量。本发明用于实现微纳三维结构的样品侧壁表面形貌和局部表面电势的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 开尔文 探针 显微镜 系统 样品 侧壁 扫描 方法 | ||
【主权项】：
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