[发明专利]一种自转轮式末端抛光装置在审
申请号: | 202010238713.7 | 申请日: | 2020-03-30 |
公开(公告)号: | CN111421423A | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 姚永胜;丁蛟腾;沈乐;赵蒙;马臻;范学武 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | B24B13/00 | 分类号: | B24B13/00;B24B47/12;B24B41/00;B24B41/02 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 董娜 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明提供了一种自转轮式末端抛光装置,解决现有抛光装置易出现打滑;及抛光压力控制精度较低、对机床运行精度要求较高的问题。该装置包括法兰盘、力控单元、机架、电机、抛光轮、主传动轮及从传动轮,力控单元控制抛光压力,电机带动抛光轮旋转,实现光学元件材料去除。力控单元为输出端上下浮动式结构,不仅降低对运动执行机构的运动精度要求,还可实现高精度抛光压力控制。该抛光装置抛光压力控制精度高,去除函数稳定;去除函数接近高斯形,面形误差收敛快。 | ||
搜索关键词: | 一种 自转 轮式 末端 抛光 装置 | ||
【主权项】:
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