[发明专利]一种用于硅芯拉制时对硅芯拉制区进行冷却的装置在审
申请号: | 202010238872.7 | 申请日: | 2020-03-30 |
公开(公告)号: | CN111379022A | 公开(公告)日: | 2020-07-07 |
发明(设计)人: | 戚振华 | 申请(专利权)人: | 戚振华 |
主分类号: | C30B27/02 | 分类号: | C30B27/02;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 471000 河南省洛阳市洛龙区展*** | 国省代码: | 河南;41 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种用于硅芯拉制时对硅芯拉制区进行冷却的装置,涉及人工晶体领域,本发明中冷却液体通路对插板阀下面进行冷却,进而提高插板阀使用的可靠性,有效的提高了插板阀的寿命等,然后在每个吹气管(3)的进气端分别设置节流阀(10),可以对不同结晶温度的拉制孔实现吹气量的调节,这样可以保证每个结晶区的结晶温度一致,进而实现多根硅芯的同时拉制,有效的保证了硅芯质量等,硅芯的快速均匀冷却可以提高晶体的拉制速度、增加所拉制的硅芯的直径,而硅芯直径的加大,又使其后期在还原炉内的生长速度加快,由此提高了生产效率等,本发明具有结构简单,使用效果好等优点,适合大范围的推广和应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 拉制 进行 冷却 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于戚振华,未经戚振华许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010238872.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。