[发明专利]一种制备高洁净度涂层的方法在审
| 申请号： | 202010239678.0 | 申请日： | 2020-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN111424273A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 徐俊阳;郑广文;李加 | 申请（专利权）人： | 沈阳富创精密设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C24/04 | 分类号： | C23C24/04;H01L21/02 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 俞鲁江 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制备高洁净度涂层的方法，(1)选择细小颗粒的粉末，颗粒直径小于15μm或者纳米颗粒；(2)设定沉积室压力小于1000Pa；(3)喷嘴与零件基体的相对速度为0.2‑1.5mm/min；(4)喷嘴到基体之间的距离为7‑27mm。本发明可以得到较广的涂层厚度范围，涂层的洁净度更高，颗粒很难吸附在涂层表面。同时，还具有较高的耐腐蚀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 洁净 涂层 方法 | ||
【主权项】：
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