[发明专利]一种基于十字梁结构的石墨烯高压压力传感器在审
| 申请号： | 202010240198.6 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN111337185A | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 李孟委;王俊强;薛伟 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L1/22 |
| 代理公司： | 北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11681 | 代理人： | 刘莹莹 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 一种基于十字梁结构的石墨烯高压压力传感器，包括：封装外壳，封装外壳内侧底部设置安装槽；膜片，膜片设置在封装外壳的顶部；基座，基座设置在安装槽内；基片，基片设置在基座上，基片中心开设有方形孔，方形孔上设置有十字梁，十字梁与基片的连接处均设置有石墨烯压阻结；凸柱，凸柱一端连接在膜片底部，凸柱另一端与十字梁中心连接。本发明在硅结构基片和不锈钢膜片基本架构上，采用十字梁结构最大程度提高了压力测量范围，最大程度利用石墨烯压阻结的压敏特性，灵敏度进一步提高，同时将器件承受温度提高至300℃，高温高压下测量优势明显，再通过压阻结桥路的过滤，成为应用于动态、静态高温高压环境下十分理想的高温压力传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 十字 结构 石墨 高压 压力传感器 | ||
【主权项】：
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