[发明专利]研磨微粒及其制造方法、研磨剂在审
| 申请号： | 202010240378.4 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN111500258A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 杨鹏;高峰;杨剑 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 岳丹丹 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 公开了一种研磨微粒及其制造方法，所述研磨微粒包括：核心，所述核心的形状为球状结构弹性芯体，在压力作用下会发生弹性形变；包裹所述核心的第一核壳，所述第一核壳为研磨层，用于对目标材料进行研磨，其中，所述第一核壳具有介孔结构。本发明提供的研磨微粒，是由多孔碳核心和氧化铈第一核壳构成的微球结构，且多孔碳核心在压力下可以发生弹性形变，因此可以降低研磨微粒不规则表面而造成的划伤半导体表面的风险，另外，由于第一核壳为介孔结构，可以提高研磨微粒的韧性，降低研磨微粒在使用中的破损率。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 微粒 及其 制造 方法 研磨剂 | ||
【主权项】：
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