[发明专利]Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置及其装调方法在审
| 申请号： | 202010240879.2 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN111531410A | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 贾昕胤;孙剑;郝雄波;张智南;李思远;刘学斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B13/01;B24B49/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 郑丽红 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置及其装调方法，实现对反射膜层面型精度低的Sagnac型干涉仪进行面形修整，避免重新投产，实现加工后再次使用的目的。该抛光装置包括离子抛光机安装基板、水平安装板、垂直安装板、右侧保护板和左侧保护板；右侧保护板和左侧保护板安装在水平安装板的前侧；Sagnac型干涉仪组件安装在水平安装板的顶面，且其抛光面位于右侧保护板和左侧保护板之间；垂直安装板安装在水平安装板的后侧，且其端面上设置有沿水平和竖直方向的多个第一腰形孔；离子抛光机安装基板位于垂直安装板的后侧，且其表面设置有沿水平和竖直方向的多个T形槽；垂直安装板和离子抛光机安装基板通过连接件安装。 | ||
| 搜索关键词： | sagnac 干涉仪 组件 层面 离子束 抛光 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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