[发明专利]一种用于光学投影光刻机的自动对焦装置及自动对焦方法在审
| 申请号： | 202010242592.3 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN111352310A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 黄燕燕;王笑冰;阚凌雁;柯华恒 | 申请（专利权）人： | 深圳市深大极光科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供的用于光学投影光刻机的自动对焦装置，包括激光器、激光能量调节器、扩束器、准直透镜、叉丝、成像透镜、分光棱镜、监视系统透镜、监视系统、二向色镜、电子变焦透镜、投影微缩镜头、感光材料及光刻平台，所述感光材料位于所述光刻平台上，本发明提供的用于光学投影光刻机的自动对焦装置及对焦方法，通过改变电子变焦透镜的焦距来对焦，调节响应速度快，与机械对焦相比可以快速地使光刻机的光刻图像重新对准焦，适用于光刻机需要快速工作的要求。另外，本发明还提供了一种用于光学投影光刻机的自动对焦方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光学 投影 光刻 自动 对焦 装置 方法 | ||
【主权项】：
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