[发明专利]激光器波长测量装置及方法有效
| 申请号： | 202010244216.8 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN111289124B | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 刘广义;江锐;韩晓泉;赵江山;沙鹏飞;殷青青;张华 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光器波长测量装置及方法，该激光器波长测量装置包括：第一光路组件和第二光路组件；以及第二光路组件与第一光路组件构成激光器波长测量光路，其中，第二光路组件包括：FP标准具组件和光学分级器，经过匀化处理后的所述激光光束经过FP标准具组件产生干涉条纹；以及光学分级器在激光器波长测量光路中设置于FP标准具组件之后，用于对经过FP标准具组件的激光光束进行偏折处理。本发明的FP标准具组件使得两个FP标准具共用同一光路进行干涉成像，结构紧凑体积小，设计简单，稳定性高；在光学分级器的配合下，可以同时实现对激光波长的精准测量，波长测量范围大，适用于激光器波长的在线测量以及对应的闭环控制反馈。 | ||
| 搜索关键词： | 激光器 波长 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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