[发明专利]用于检测龙虾眼光学器件方孔阵列结构缺陷的装置及方法有效
| 申请号： | 202010244650.6 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN111257357B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 黎龙辉;金戈;顾燕;王健;张振;孙建宁;廖亦戴;吴超;徐昭;姜博文 | 申请（专利权）人： | 北方夜视技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/18 | 分类号： | G01N23/18 |
| 代理公司： | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人： | 王培松 |
| 地址： | 650217 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明涉及龙虾眼器件技术领域，公开一种用于检测龙虾眼光学器件方孔阵列结构缺陷的装置及方法，包括X射线光管、光学狭缝、多轴位移台、探测器以及数据分析系统，其中龙虾眼光学器件设置在X射线光管与探测器之间，光学狭缝设置在X射线光管与龙虾眼光学器件之间，X射线光管、龙虾眼光学器件以及探测器的中心共轴且对应齐平。采用龙虾眼光学聚焦与小孔X射线成像方法相结合，测试不同龙虾眼光学器件的方孔结构缺陷，尤其是在高温制备环境下(热弯)的形变情况，以利于后期进行优化龙虾眼光学器件的聚焦成像质量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 龙虾 眼光 器件 阵列 结构 缺陷 装置 方法 | ||
【主权项】：
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