[发明专利]一种太赫兹波光控调制器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010246540.3 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN111399256B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 姚琳;李伟民;杨春雷;杨兵;许述达;谢芳梅;王忠国 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;阳志全 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太赫兹波光控调制器的制备方法，包括：提供一介质基板；在所述介质基板上制作一层二硒化锡材料，形成附着于所述介质基板表面的薄膜。本发明还提供了一种太赫兹波光控调制器，包括介质基板和附着于所述介质基板表面的薄膜，所述介质基板用于透过太赫兹波，所述薄膜为二硒化锡材料，用于受太赫兹光激发产生光生载流子。本发明的太赫兹波调制器基于二硒化锡薄膜进行制备，泵浦光源照射太赫兹波调制器时能激发二硒化锡产生光生载流子，通过改变光强可以控制激发的载流子数，从而实现了光控太赫兹波的开关效应。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 赫兹 波光 调制器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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