[发明专利]一种偏振无关的Y分支型分光/合光器

摘要

本发明公开了一种偏振无关的Y分支型分光/合光器，本发明包括：端口零、直波导一、S型波导一、S型波导二、过渡直波导一、过渡直波导二、S型波导三、S型波导四、S型波导五、S型波导六、直波导二、直波导三、直波导四、直波导五、端口一、端口二、端口三、端口四、基底、Si下层、SiNx芯层、Si上层。偏振无关的Y分支型分光/合光器以SiO2作为基底，器件中的波导横截面均由Si‑SiNx‑Si三层材料构成，可以实现器件的偏振无关性。三个不同的波导宽度值可供选择，可实现降低合路时损耗的功能。本发明提供有一种偏振无关、合路损耗低、分光均匀度好、波长不敏感和尺寸小的Y分支型分光/合光器。