[发明专利]压电器件及其形成方法有效
| 申请号： | 202010246888.2 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN111740007B | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 王勇涛;王冲;蔡敏豪;项少华 | 申请（专利权）人： | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/29 | 分类号： | H01L41/29;H01L41/23;H01L41/053;H01L41/047;G03F7/42 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 312000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种压电器件及其形成方法。在形成钝化层之前，在上电极层的第一端部上形成牺牲部，以用于支撑钝化层的端部，使得钝化层不存在悬空遮盖的部分，从而在形成接触垫时，即不会出现钝化层的悬空部被破坏的问题。以及，在形成接触垫之后，通过去除牺牲部，即可释放出钝化层其端部下方的空间，进而形成钝化层的悬空部，以保障所形成的压电器件的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 器件 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司，未经绍兴中芯集成电路制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010246888.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
