[发明专利]一种圆片级玻璃腔体的制造方法在审
| 申请号： | 202010247268.0 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN111498797A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 杨静;刘福民;刘国文;徐宇新;梁德春 | 申请（专利权）人： | 北京航天控制仪器研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 徐晓艳 |
| 地址： | 100854 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种圆片级玻璃腔体的制造方法包括以下步骤：对玻璃片进行清洗，去除玻璃表面有机物和颗粒；采用强碱溶液继续对玻璃片进行清洗，增加玻璃片表面OH‑浓度，提高金属薄膜粘附性；利用金属薄膜工艺在玻璃片的一面溅射复合金膜；先后利用光刻和刻蚀工艺在金膜上进行光刻，并形成特定图案；采用蓝膜将玻璃片边缘及无金膜面进行保护；将保护好的玻璃片放入HF和水的混合溶液中，腐蚀至预设的一定深度；揭掉蓝膜，并去掉光刻胶及复合金膜，在玻璃片上形成腔体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆片级 玻璃 制造 方法 | ||
【主权项】：
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