[发明专利]一种焦斑焦深可变贝塞尔光束激光加工系统及方法有效
| 申请号： | 202010249968.3 | 申请日： | 2020-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN111505831B | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 李明;杨合宁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B27/28;B23K26/06 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于激光精密制造领域，涉及一种焦斑焦深可变贝塞尔光束激光加工系统及方法，解决现有的贝塞尔光束激光加工系统不能适用于不同孔型和材料厚度的加工问题，包括激光器及依次设置在激光器出射光路中的扩束镜、光阑、波片、变焦透镜、正轴棱锥和透镜；从激光器出射的光束经过扩束镜扩展匀化后，进入光阑滤去杂散光，到达波片，之后进入变焦透镜，通过调节变焦透镜焦距和变焦透镜与正轴棱锥之间的距离改变所产生贝塞尔光束的焦斑焦深，以获得所需加工光束，经透镜聚焦后作用于工件表面。通过该系统能够实现加工贝塞尔光束焦斑焦深变化，实现大深径比微孔、透明材料等多用途加工，为高精度微孔孔型制造和高质量透明材料切割等提供了保障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 焦深 可变 贝塞尔 光束 激光 加工 系统 方法 | ||
【主权项】：
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