[发明专利]一种钪掺杂氮化铝兰姆波谐振器与制备方法在审
| 申请号： | 202010250529.4 | 申请日： | 2020-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN111262543A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 李国强 | 申请（专利权）人： | 河源市众拓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/04 | 分类号： | H03H3/04;H03H9/02;H03H9/13;H03H9/17 |
| 代理公司： | 广州凯东知识产权代理有限公司 44259 | 代理人： | 李勤辉 |
| 地址： | 517000 广东省河源市高新技术开*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钪掺杂氮化铝兰姆波谐振器与制备方法，结构包括：单晶衬底层、键合材料、压电层和叉指电极，所述压电层为钪掺杂单晶氮化铝，所述叉指电极包括安装在所述压电层上表面的顶电极和安装在所述压电层底面的底电极。具体的，通过采用单晶材料作为衬底层和压电层，替换现有兰姆波谐振器所采用的多晶材料，能够使得制备而成的兰姆波谐振器表面更加的光滑，降低兰姆波谐振器的插入损耗，解决了现有兰姆波谐振器插入损耗大的问题，此外，本发明还通过压电层采用钪掺杂单晶氮化铝，替换现有兰姆波谐振器的氮化铝材料，使得兰姆波谐振器的机电耦合系数增大，从而使得带宽变宽，提高兰姆波谐振器的传输速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 氮化 铝兰姆波 谐振器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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