[发明专利]一种原子层沉积技术制备银薄膜的方法

摘要

本发明涉及一种原子层沉积技术制备银薄膜的方法，包括银前躯体、肼类还原剂、待镀基料、银源罐、还原剂钢瓶、反应室、运输管道、ALD脉冲阀门，所述银前驱提选用液态银源，作为金属有机化合物前驱体与所述待镀基料表面发生化学自饱和吸附并发生交换反应，在所述待镀基料表面生成银置换前驱体，所述银置换前驱体再与肼类还原剂发生还原反应，生成银薄膜。本发明选用液态银源为银前驱体，可以避免银源在使用过程中冷凝从而堵塞阀门，并且可以良好的控制沉积工艺，降低生产成本；选用肼类还原剂为还原性前驱体，可以直接利用热型原子层沉积技术即可沉积单质银薄膜；采用本发明中的方法，在使用过程中，更方便、更安全、更容易操作。