[发明专利]等离子体处理装置用的夹具以及等离子体处理系统在审
| 申请号： | 202010251728.7 | 申请日： | 2020-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN111799147A | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 奥田健 | 申请（专利权）人： | 日本电产株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;李平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有产生等离子体的等离子体产生部的等离子体处理装置用的夹具，具有：载置由上述等离子体处理装置进行等离子体处理的工件的支撑台；从上述支撑台延伸的支柱；以及支撑于上述支柱并设有多个在进行上述等离子体处理时引导上述等离子体产生部的狭缝的引导板。上述多个狭缝各自的至少一方端部经由连结部而与其它上述狭缝的端部相邻。上述支撑台和上述引导板设为能够如下相对移动：将至少一个上述狭缝的至少一方端部配置在与相邻的上述狭缝的端部所存在的位置重叠的重叠位置。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 夹具 以及 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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