[发明专利]晶片调度方法及装置

摘要

本申请实施例公开了一种晶片调度方法及装置，用以解决现有的晶片调度效率低、准确率低以及无法自动优化的问题。所述方法包括：获取待调度的晶片的第一参数信息；所述第一参数信息包括晶片数量、存放所述晶片的装卸载腔的数量、传输站点信息中的至少一项；根据所述第一参数信息，生成本次晶片调度对应的节点网络；从指定数据库中获取历史晶片调度后生成的历史参数信息；根据所述节点网络及所述历史参数信息，计算所述晶片在所述节点网络中的最佳移动路径；以及，基于所述最佳移动路径调度所述晶片。该技术方案使晶片的最佳移动路径的计算结果更加准确、调度效率更高，且具备自我优化能力，不断提升半导体设备的产能。