[发明专利]一种温控腔压力测量和控制装置有效
| 申请号： | 202010257020.2 | 申请日： | 2020-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN111399573B | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 吴惠明;张策;汤斌;朱岩;王文健;肖彬 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 |
| 主分类号： | G05D27/02 | 分类号： | G05D27/02 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 付建军 |
| 地址： | 100095 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种温控腔压力测量和控制装置，其特征在于，包括温控腔、气压测量控制器、导气管、第一热交换器和第二热交换器，所述温控腔与所述气压测量控制器通过所述导气管连通，所述气压测量控制器用于测量所述温控腔内的压力并进行压力控制，所述导气管上设置有所述第一热交换器和所述第二热交换器，所述第一热交换器设置于所述温控腔内，所述第二热交换器设置于所述温控腔与所述气压测量控制器之间。本发明能够对温控腔内部压力进行高精度测量和控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 温控 压力 测量 控制 装置 | ||
【主权项】：
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