[发明专利]一种面向在机测量功能集成的精密微调装置有效
申请号: | 202010258346.7 | 申请日: | 2020-04-03 |
公开(公告)号: | CN111515756B | 公开(公告)日: | 2021-07-06 |
发明(设计)人: | 刘海波;孟祥振;杜文浩;袭萌萌;薄其乐;刘阔;王永青;贾振元 | 申请(专利权)人: | 大连理工大学 |
主分类号: | B23Q17/20 | 分类号: | B23Q17/20 |
代理公司: | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人: | 关慧贞 |
地址: | 116024 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明一种面向在机测量功能集成的精密微调装置属于检测技术领域,涉及一种面向在机测量功能集成的精密微调装置。精密微调装置由底座、基座、X方向滑动导轨组件、Y方向滑动导轨组件、三点定位机构和俯仰调节机构组成。该装置中,对传感器测头的X、Y两个方向先进行粗调,再利用微调机构进行微调整。俯仰调节机构中采用丝杠螺母驱动圆弧配合面的形式,实现微调装置的精密俯仰调节。该装置调节范围大、刚度高、结构紧凑,实现了传感器测头三个自由度的精密调节,位移分辨率可达微米级。调节快速、精度高、刚性好。同时,可拆卸的方式在避免测量装置会对加工过程造成干涉的同时,也减小了传感器测头受到损伤的可能性,实用性强。 | ||
搜索关键词: | 一种 面向 测量 功能 集成 精密 微调 装置 | ||
【主权项】:
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