[发明专利]一种面向在机测量功能集成的精密微调装置有效

专利信息
申请号: 202010258346.7 申请日: 2020-04-03
公开(公告)号: CN111515756B 公开(公告)日: 2021-07-06
发明(设计)人: 刘海波;孟祥振;杜文浩;袭萌萌;薄其乐;刘阔;王永青;贾振元 申请(专利权)人: 大连理工大学
主分类号: B23Q17/20 分类号: B23Q17/20
代理公司: 大连理工大学专利中心 21200 代理人: 关慧贞
地址: 116024 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明一种面向在机测量功能集成的精密微调装置属于检测技术领域,涉及一种面向在机测量功能集成的精密微调装置。精密微调装置由底座、基座、X方向滑动导轨组件、Y方向滑动导轨组件、三点定位机构和俯仰调节机构组成。该装置中,对传感器测头的X、Y两个方向先进行粗调,再利用微调机构进行微调整。俯仰调节机构中采用丝杠螺母驱动圆弧配合面的形式,实现微调装置的精密俯仰调节。该装置调节范围大、刚度高、结构紧凑,实现了传感器测头三个自由度的精密调节,位移分辨率可达微米级。调节快速、精度高、刚性好。同时,可拆卸的方式在避免测量装置会对加工过程造成干涉的同时,也减小了传感器测头受到损伤的可能性,实用性强。
搜索关键词: 一种 面向 测量 功能 集成 精密 微调 装置
【主权项】:
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