[发明专利]用于高温处理的具有金属结合背板的静电定位盘组件有效
| 申请号： | 202010259064.9 | 申请日： | 2016-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN111446145B | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | V·D·帕科 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
静电定位盘组件包括上定位盘板、下定位盘板和背板。上定位盘板包含AlN或Al |
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| 搜索关键词： | 用于 高温 处理 具有 金属 结合 背板 静电 定位 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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