[发明专利]一种低噪声MEMS加速度计有效
| 申请号： | 202010259467.3 | 申请日： | 2020-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN111551761B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 王志;周骏;王龙峰;山永启;雷龙海 | 申请（专利权）人： | 四川知微传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 林菲菲 |
| 地址： | 610000 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低噪声MEMS加速度计，本发明的加速度计由结构层和衬底层组成，结构层包括质量块、梁、梳齿组和铆点；其中铆点均固定在衬底上，梳齿组及与之相连的铆点分布在质量块的内部；所述梁一端与质量块连接且梁的另一端与铆点连接，梁及与之相连的铆点分布在质量块的四周；所述梳齿组包括检测梳齿且检测梳齿为变面积梳齿。本发明通过采用变面积梳齿结构，降低阻尼从而减小布朗噪声。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 噪声 mems 加速度计 | ||
【主权项】：
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