[发明专利]一种用于测量机械信号的仿生传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 202010259617.0 | 申请日： | 2020-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN111521305B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 韩志武;张昌超;张俊秋;陈豫;牛士超;孟宪存;刘林鹏;薛浩;李玉姣 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 朱阳波;徐凯凯 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于测量机械信号的仿生传感器及其制造方法，包括：传感器单元、传感器支架以及电阻检测装置；传感器单元包括柔性基底层；设置在柔性基底层上的毛杆和信号处理层；毛杆呈倒立圆台状；信号处理层上设置有裂纹。本发明的仿生传感器中呈倒立圆台状的毛杆具有较大的惯性，测量过程中信号处理层上的裂纹会随柔性基底层的形变而张合，可以得到较大的电阻变化，从而提高仿生传感器的测量灵敏度，使仿生传感器可以适用对微弱机械信号的检测，且本发明的仿生传感器可以同时对空间和平面内的多种机械信号进行测量，对空间和平面中的多重信号适应性强，集成度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测量 机械 信号 仿生 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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