[发明专利]一种基于氮掺杂氧化锌纳米棒阵列/硅异质结的自驱动光电探测器及其制备方法

摘要

本发明属于光探测技术领域，具体涉及一种自驱动光电探测器，该光电探测器由上至下依次包括金属In点电极、金属Pd顶电极、掺杂氮的氧化锌纳米棒阵列薄膜层、p型单晶硅基底和金属In底电极，其中p型单晶硅层与掺杂氮的氧化锌纳米棒阵列薄膜层构成异质结。掺杂氮的氧化锌纳米棒阵列薄膜层是利用磁控溅射法和水热法制备的。测试结果显示，所制备的器件可以实现对从紫外到近红外波长范围内光的自驱动光电探测，且具有良好的稳定性和重复性等优点。