[发明专利]一种生成设计版图坏点检测模型的方法及检测坏点的方法在审
| 申请号： | 202010261917.2 | 申请日： | 2020-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN111582309A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 盖天洋;韦亚一;粟雅娟;陈颖 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G06K9/62 | 分类号： | G06K9/62 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及集成电路技术领域，尤其涉及一种生成设计版图坏点检测模型的方法及检测坏点的方法，该生成设计版图坏点检测模型的方法包括：基于已知版图中已标记的坏点位置，获得潜在坏点的规律；基于潜在坏点的规律，从已知版图的坏点位置中提取第一切片图形并对第一切片图形进行扩充，获得坏点样本集合；从已知版图中除坏点位置之外的其他版图位置中，提取第二切片图形并对第二切片图形进行筛选，获得非坏点样本集合；对坏点样本集合和非坏点样本集合进行特征提取，获得第一特征向量；将第一特征向量作为训练数据，输入分类器模型中进行训练，得到对坏点和非坏点进行分类的坏点分类模型，通过训练好的坏点分类模型辨别出坏点图形，提高检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生成 设计 版图 检测 模型 方法 | ||
【主权项】：
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