[发明专利]改善铝对氧化铝陶瓷润湿性的方法在审
申请号: | 202010262321.4 | 申请日: | 2020-04-06 |
公开(公告)号: | CN111302833A | 公开(公告)日: | 2020-06-19 |
发明(设计)人: | 尚海龙;冉准;齐小犇;杜浩明;郭乐阳;马冰洋 | 申请(专利权)人: | 上海电机学院 |
主分类号: | C04B41/88 | 分类号: | C04B41/88;C04B41/52;C23C14/35;C23C14/18 |
代理公司: | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人: | 范艳静 |
地址: | 200240 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种改善铝对氧化铝陶瓷润湿性的方法,其包括:先对氧化铝陶瓷表面进行抛光处理,再放置真空室内;将真空室的背底气压预抽,并将氧化铝陶瓷加热;待氧化铝陶瓷降至室温后,对真空室充入氩气,并保持压强;对氧化铝陶瓷进行磁控溅射时,先采用铝靶由直流阴极控制,得到铝层;在铝层的表面再采用铜靶由射频阴极控制,得到铜层,整个薄膜沉积过程中,氧化铝陶瓷基片不加热也不施加负偏压;本发明通过磁控溅射的方法在氧化铝陶瓷表面沉积铝/铜双层膜,从而改善了铝或铝合金对氧化铝陶瓷的润湿性;利用本发明的方法实现了铝对氧化铝陶瓷的直接润湿,润湿界面处不存在任何反应过渡层,可获得高的界面强度,从而提高复合材料的力学性能。 | ||
搜索关键词: | 改善 氧化铝陶瓷 润湿 方法 | ||
【主权项】:
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