[发明专利]一种MEMS加速度计噪声测试方法在审
| 申请号： | 202010263657.2 | 申请日： | 2020-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN111398635A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 张婷婷;李政华;沈旭东 | 申请（专利权）人： | 嘉兴恩湃电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 程开生 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS加速度计噪声测试方法，包括以下步骤：步骤S1：配置待测试的至少一MEMS加速度计；步骤S2：经由所述AD8429仪表放大器将所述MEMS加速度计输出信号差分放大输出为一MEMS加速度计差分放大信号；步骤S3：经由所述动态分析仪将所述MEMS加速度计差分放大信号汇总上传至一电脑采集系统；步骤S4：所述电脑采集系统依据预先设置的一FFT参数对于所述MEMS加速度计差分放大信号进行数值处理，以输出所述MEMS加速度计的一噪声图。本发明公开的MEMS加速度计噪声测试方法，借助加速度计输出信号的放大电路，将采集到的信号放大后，经由动态分析仪采集信号，传输至电脑等上位机做频谱分析，并对原始数据保存处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 加速度计 噪声 测试 方法 | ||
【主权项】：
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