[发明专利]具有多个压力感测元件的压力传感器有效
申请号: | 202010264741.6 | 申请日: | 2020-04-07 |
公开(公告)号: | CN111795771B | 公开(公告)日: | 2022-04-26 |
发明(设计)人: | 拉马尔·弗洛伊德·瑞克斯;伊恩·本特利;吉姆·库克;乔希·M·弗里布莱 | 申请(专利权)人: | 霍尼韦尔国际公司 |
主分类号: | H01L29/84 | 分类号: | H01L29/84;G01L11/00;G01L19/14 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 李晨;刘茜 |
地址: | 美国新*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明题为“具有多个压力感测元件的压力传感器”。本发明提供了一种压力传感器。该压力传感器包括基底、第一压力感测元件、第二压力感测元件以及设置在基底的第一表面上的传感器调节电路。该传感器调节电路电耦接到第一压力感测元件和第二压力感测元件。 | ||
搜索关键词: | 具有 压力 元件 压力传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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