[发明专利]电子器件、电子组件器件及其制造方法在审

专利信息
申请号: 202010265891.9 申请日: 2020-04-07
公开(公告)号: CN112599670A 公开(公告)日: 2021-04-02
发明(设计)人: 金俊德;陈建宏 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L49/02 分类号: H01L49/02
代理公司: 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人: 章社杲;李伟
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 公开了硅上氮化镓结构,其中,二维电子气(2DEG)层是包括至少两个2DEG段的不连续层。每个2DEG段通过间隙与另一个2DEG段分隔开。2DEG层可以由设置在氮化铝镓层的一部分上方的p型掺杂的氮化镓层耗尽。另外地或可选地,可以在结构中形成穿过2DEG层的沟槽以在2DEG层中产生间隙。电子组件位于间隙的至少一部分上方。本发明的实施例还涉及电子器件、电子组件器件及其制造方法。
搜索关键词: 电子器件 电子 组件 器件 及其 制造 方法
【主权项】:
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