[发明专利]指纹识别模组及其形成方法、电子设备在审
| 申请号： | 202010266613.5 | 申请日： | 2020-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN112115758A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 石虎;刘孟彬;向阳辉 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00 |
| 代理公司： | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人： | 高静 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种指纹识别模组及其形成方法、电子设备，形成方法包括：提供衬底；在衬底上形成多个分立的牺牲层；在牺牲层上形成压电换能器，包括第一电极、位于第一电极上的压电层以及位于压电层上的第二电极，压电层用于根据信号处理电路提供的信号产生振动，形成用于指纹识别的超声波；形成露出牺牲层部分顶部的释放孔；采用灰化工艺，通过释放孔去除牺牲层形成空腔。本发明实施例采用灰化工艺去除牺牲层，在气相条件下实现对牺牲层的释放，有利于减小牺牲层的残留、易于将牺牲层去除干净，且去除牺牲层的工艺对压电换能器的影响小；而且，本发明实施例直接在衬底上形成空腔，不需额外消耗一片承载基底，有利于降低工艺成本、实现指纹识别模组的量产化。 | ||
| 搜索关键词： | 指纹识别 模组 及其 形成 方法 电子设备 | ||
【主权项】：
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