[发明专利]具有铁电感应层的铁电存储器件及其制造方法在审
申请号: | 202010266779.7 | 申请日: | 2020-04-07 |
公开(公告)号: | CN112349774A | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 刘香根;李世昊;李在吉 | 申请(专利权)人: | 爱思开海力士有限公司 |
主分类号: | H01L29/423 | 分类号: | H01L29/423;H01L29/51;H01L29/78;H01L27/1159;H01L21/336;H01L21/28;H01L21/02 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 许伟群;阮爱青 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本申请公开了一种具有铁电感应层的铁电存储器件及其制造方法。根据本公开的一个方面的铁电存储器件包括:具有沟道层的衬底;设置在沟道层上的第一铁电层;设置在第一铁电层上的铁电感应层,该铁电感应层包括绝缘体;设置在铁电感应层上的第二铁电层;以及设置在第二铁电层上的栅电极层。 | ||
搜索关键词: | 具有 电感应 存储 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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