[发明专利]辉光等离子体稳定在审
| 申请号： | 202010267949.3 | 申请日： | 2020-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN111800929A | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 马丁·洛佩兹;巴赫拉姆·阿里扎德;迈克尔·安东尼·拉特克利夫;尼基·杰伊·巴特森 | 申请（专利权）人： | 仕富梅集团公司 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00;G01N21/67 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 纪雯 |
| 地址： | 英国东苏*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种用于稳定来自等离子体的辉光放电的方法、装置和系统。还提供了用于处理来自稳定的辉光等离子体的具有增强的信号到噪声恢复的光学信号的方法、装置和系统。第一方法包括：使用交流激励电压在等离子体单元内产生电场以激励单元中的粒子，从而从所述等离子体单元中的等离子体产生辉光放电；在所述交流激励电压的每个激励周期中监控与来自所述等离子体单元中的所述等离子体的辉光放电光学发射相关的一个或多个信号；以及响应于所述监控，控制所述等离子单元的一个或多个操作条件，以在所述交流激励电压的每个激励周期中将来自所述等离子体的所述辉光放电发射保持在期望的操作范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 辉光 等离子体 稳定 | ||
【主权项】：
暂无信息
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