[发明专利]研磨载具清洗装置及研磨载具清洗方法有效
| 申请号： | 202010268464.6 | 申请日： | 2020-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN111451938B | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 贺云鹏;赵晟佑 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/06 | 分类号： | B24B55/06;B08B1/02;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;张博 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨载具清洗装置及研磨清洗方法，该研磨载具清洗装置包括：刷头，包括轮盘部分，轮盘部分的端面在周边区域分布有刷毛，在中心区域至少设有第一喷嘴和第二喷嘴，刷头上至少还设有第一流道和第二流道，第一喷嘴连通第一流道，第二喷嘴连通第二流道，第一喷嘴用于喷射第一压力的流体，第二喷嘴用于喷射第二压力的流体，第一压力小于或等于第二压力；移动机构，与刷头连接，用于在第一方向和第二方向上移动刷头，第一方向为垂直于刷头的端面的方向，第二方向为与刷头的端面平行的方向。本发明的硅片载具清洗装置及硅片载具清洗方法，能够有效、快速的去除研磨副产物，保证硅片载具表面平整度。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
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