[发明专利]一种引晶设备及引晶方法在审
申请号: | 202010268620.9 | 申请日: | 2020-04-08 |
公开(公告)号: | CN111411393A | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 吴锋波;余剑云;王进学;陈建明;杨胜裕 | 申请(专利权)人: | 福建晶安光电有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 | 代理人: | 高园园 |
地址: | 362411 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种引晶设备及引晶方法,所述引晶设备,包括用于在引晶过程中夹持籽晶的籽晶夹具和用于放置熔化的原料的坩埚;其中所述坩埚的上方设置有坩埚盖板,所述坩埚盖板中心位置设置有一通孔,所述通孔的孔径为45~60mm。所述引晶方法包括1)准备工作:将氧化铝原料放入坩埚中熔化,得到熔液;2)引晶:待熔液温度达到长晶速度为15~30min/2~2.5mm所对应的温度时,将籽晶在籽晶夹具的夹持下浸入到所述熔液液面下,使所述籽晶与所述熔液的液面做好完全熔接。本发明有效地提高了引晶质量,缩短了引晶时间,大大降低了生产成本,提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 设备 方法 | ||
【主权项】:
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