[发明专利]一种能自动测量坩锅内长晶粉料高度的装置有效
| 申请号： | 202010269124.5 | 申请日： | 2020-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN111322956B | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 曹徐婷 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种能自动测量坩锅内长晶粉料高度的装置，属于晶体生长领域。操作简单，效率高，可自动使坩埚不断摇晃，使粉料均匀和平整，对摇晃后的粉料高度进行自动检测。包括平衡球、平衡体、坩埚、红外测距仪、平台和支架，平衡球放置在平衡体内，平衡球放置在平台的下侧，平台与平衡体固定连接，坩埚与平台可拆卸连接，红外测距仪与支架建立安装，支架与平衡体建立位置关系。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 测量 坩锅内长晶粉料 高度 装置 | ||
【主权项】：
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