[发明专利]一种微小力实时监测的方法及装置有效
申请号: | 202010270008.5 | 申请日: | 2020-04-08 |
公开(公告)号: | CN111486995B | 公开(公告)日: | 2021-02-12 |
发明(设计)人: | 冯雪;陈思宇;马寅佶 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G01L1/10 | 分类号: | G01L1/10;G01L9/00 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本公开涉及一种微小力实时监测的方法及装置,该方法包括:获取微纳米谐振式测力传感器的输出信号;根据所述输出信号,确定频率漂移值;根据所述频率漂移值,确定对应的作用力,其中,所述作用力的大小与所述频率漂移值成线性正比关系。本公开实施例中,通过微小力的大小与谐振器的频率漂移值的关系,从而在谐振式传感器的尺度减小到微纳米量级时,利用谐振器的自身频率漂移进行微小力的实时监测,且具有非常高的精度和灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 一种 微小 实时 监测 方法 装置 | ||
【主权项】:
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