[发明专利]用于跨尺度双光子聚合加工的样品精密夹具及调平方法有效
| 申请号： | 202010270160.3 | 申请日： | 2020-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN111421228B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 熊伟;范旭浩;焦玢璋;刘耘呈;高辉;邓磊敏 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B23K26/082 | 分类号： | B23K26/082;B23K26/70 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 尹丽媛;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于微纳加工领域，具体涉及一种用于跨尺度双光子聚合加工的样品精密夹具及调平方法，夹具包括：固定连接的XY轴移动平台、Z轴位移台和基板，设置于基板上的微调组件，过渡组件，以及载物台；过渡组件一端固定于微调组件上、另一端固定载物台；XY轴移动平台用于驱动Z轴位移台和基板沿X轴和Y轴方向移动；Z轴位移台用于驱动基板以带动微调组件、过渡组件和载物台沿Z轴方向移动；微调组件用于通过驱动过渡组件带动载物台实现水平度和平面度调整。本发明使得双光子聚合加工系统实时三维调平精度控制在100纳米以内，有效保证双光子聚合加工系统在进行加工时准确聚焦和加工产物成型精度，将加工尺度从微纳尺度拓宽至毫米和厘米尺度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 尺度 光子 聚合 加工 样品 精密 夹具 平方 | ||
【主权项】：
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