[发明专利]一种OLED蒸镀设备钽坩埚表面材料残留物的清洗方法在审
| 申请号： | 202010270551.5 | 申请日： | 2020-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN111390770A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 邱俊;惠朝先;周涛 | 申请（专利权）人： | 四川富乐德科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B24C1/08 | 分类号： | B24C1/08;B24C7/00 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 李青 |
| 地址： | 641000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种OLED蒸镀设备钽坩埚表面材料残留物的清洗方法，涉及OLED面板生产技术领域，本发明包括如下步骤:将蒸镀使用后钽坩埚内表面及外表面的膜层去除，使本体和印记显露出来；根据所述钽坩埚部件的尺寸结构，选取对应的水喷砂设备；依据钽坩埚的精度要求及结构特征，选取对应的砂材和喷砂压力进行水喷砂处理；将经过水喷砂处理钽坩埚进行外观及粗糙度检测；将检测合格后的钽坩埚进行去离子水冲洗。经过本方法处理的坩埚表面具有色泽均匀，表面洁净度高，损耗小，使用寿命高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 设备 坩埚 表面 材料 残留物 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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