[发明专利]一种激光干涉面形检测自动检测装置与方法有效
| 申请号： | 202010270880.X | 申请日： | 2020-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN111536896B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 陶小平;张学军;胡海翔;程强;薛栋林;邓伟杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 李爱英;付雷杰 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明专利涉及一种激光干涉面形检测自动检测装置和方法，包括：激光干涉仪、双目相机、衍射光斑接收相机、CGH、带中心通光孔的光斑接收屏、被测镜以及投影叉丝探测器，其中，激光干涉仪与双目相机固连，衍射光斑接收相机与CGH固连，被测镜与投影叉丝探测器固连；CGH置于激光干涉仪标准镜的焦点前方上远离激光干涉仪方向；带中心通光孔的光斑接收屏可以在激光干涉仪标准镜的焦点移除和放回。基于双目相机、投影叉丝质心探测器、多级衍射光斑识别定位传感器、干涉条纹像差解耦的激光干涉面形检测光路多级位姿自动调整方法，实现从mm级机械定位到亚μm级的光学定位，从而完成nm级的光学元件面形自动检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 干涉 检测 自动检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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