[发明专利]一种OLED掩膜版Open Mask表面蒸镀材料清洗方法在审
| 申请号： | 202010271212.9 | 申请日： | 2020-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN111472013A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 惠朝先;王佳欣;邱俊 | 申请（专利权）人： | 四川富乐德科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C23G5/036 | 分类号： | C23G5/036;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 李青 |
| 地址： | 641000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种OLED掩膜版Open Mask表面蒸镀材料清洗方法，涉及OLED面板生产技术领域，本发明包括如下步骤:根据open mask部件结构形态，选取与之匹配的工装夹具进行固定；选取耐N‑甲基吡咯烷酮腐蚀的材料制作药液浸泡槽；将电子级的N‑甲基吡咯烷酮加入到所述药液浸泡槽中；将所述open mask部件放入所述药液浸泡槽中进行反应；将反应过后的open mask部件取出，放入去离子水槽中漂洗；将漂洗处理完成后的open mask部件放入真空烘箱内干燥处理，具有能够有效清除Open Mask部件蒸镀膜，同时避免溶剂残留对于部件清洗质量的影响等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 掩膜版 open mask 表面 材料 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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