[发明专利]一种基于热电堆的无线温度传感器的生产工艺有效
| 申请号： | 202010271506.1 | 申请日： | 2020-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN111426399B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 张巧杏;张国珠;袁 | 申请（专利权）人： | 无锡豪帮高科股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/12 | 分类号： | G01J5/12;H01L35/34;H01L35/32 |
| 代理公司： | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 | 代理人： | 曹键 |
| 地址： | 214000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明一种基于热电堆的无线温度传感器的生产工艺，其特征在于具体步骤如下：步骤一、基体上下两面生长氮化硅；步骤二、生长多晶硅，硼注入，退火；步骤三、光刻第一版，形成四排多晶硅条组，四排多晶硅条组形成口字形结构，每排多晶硅条组包括并排布置的多根多晶硅条；步骤四、溅射金属，光刻第二版，湿法刻蚀金属；步骤五、钝化处理，光刻第三版；步骤六、溅射钛金，剥离，冷端上形成反射层；步骤七、湿法腐蚀，腐蚀出窗口。本发明得到了较为稳定的介质膜支撑方案，显著提高了成品率，并且通过该工艺得到的热电堆红外探测器，其性能相对于传统的热电堆探测器得到了较为明显的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 热电 无线 温度传感器 生产工艺 | ||
【主权项】：
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