[发明专利]微机电系统有效
| 申请号： | 202010271820.X | 申请日： | 2014-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN111479179B | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | A·韦斯鲍尔;C·曼德尔;M·菲尔德纳;S-T·徐 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R1/04 | 分类号： | H04R1/04;H04R1/40;H04R3/00;H04R19/00;H04R19/04;H04R31/00;B81C1/00;B81B7/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吕世磊 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了微机电系统。一种如本文所描述的实施例包括具有第一微机电系统(MEMS)换能器元件、第二MEMS换能器元件和半导体衬底的MEMS。第一MEMS换能器元件和第二MEMS换能器元件布置在半导体衬底的顶面处，并且半导体衬底包括在声学上耦接至第一MEMS换能器元件和第二MEMS换能器元件的共享的腔体。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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