[发明专利]金属蒸镀设备有效
| 申请号： | 202010273606.8 | 申请日： | 2020-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN111334756B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 阮丽霞;刘道绪 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 何辉 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种金属蒸镀设备，包括：蒸镀腔室；以及储料腔室，所述储料腔室通过隔离门与所述蒸镀腔室连接，并通过控制所述隔离门的开与闭实现所述蒸镀腔室与所述储料腔室的连通或隔绝，其中，在所述储料腔室内，设置有至少一个储料单元，用于至少一种金属蒸镀材料的储存，在所述蒸镀腔室内，设置有与所述至少一个储料单元一一对应的至少一个喂料单元以及与所述至少一个喂料单元一一对应的至少一个蒸镀坩埚，任意一所述的储料单元通过所述隔离门将所储存的金属蒸镀材料传输至对应的所述喂料单元，再由所述喂料单元传送至对应的蒸镀坩埚。通过将储料腔室与所述蒸镀腔室分离，避免了频繁开腔加料的情况，大大提高了蒸镀设备的产能。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 设备 | ||
【主权项】：
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