[发明专利]一种微带线滤波器及其制备方法、MEMS传感器有效
| 申请号： | 202010274715.1 | 申请日： | 2020-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN111463528B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 顾杰斌;张伟博;李昕欣 | 申请（专利权）人： | 上海迈铸半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01P1/203 | 分类号： | H01P1/203;H01P11/00 |
| 代理公司： | 上海和华启核知识产权代理有限公司 31339 | 代理人： | 王仙子 |
| 地址： | 200233 上海市徐汇区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微带线滤波器及其制备方法，所述的微带结构滤波器包括衬底，所述衬底具有相对设置的第一表面和第二表面；设置于所述衬底第一表面的谐振器；设置于所述衬底第二表面的地结构和共面波导结构；以及贯穿所述衬底的插塞，所述插塞连接所述谐振器和所述共面波导结构；所述插塞与所述谐振器、所述共面波导结构一体成型。滤波器的结构预先加工在衬底上，滤波器的所有金属部分在衬底上一次制作完成。制作过程耗时较短，成本低廉，且得到的滤波器性能优秀，适合大批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微带 滤波器 及其 制备 方法 mems 传感器 | ||
【主权项】：
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