[发明专利]一种石英坩埚高效清洗装置在审

专利信息
申请号: 202010274763.0 申请日: 2020-04-09
公开(公告)号: CN113510123A 公开(公告)日: 2021-10-19
发明(设计)人: 刘福鸿;陈宝昌 申请(专利权)人: 江苏华尔石英材料股份有限公司
主分类号: B08B9/28 分类号: B08B9/28;B08B9/24
代理公司: 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 代理人: 艾秀丽
地址: 225600 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及石英坩埚清洗装置技术领域,且公开了一种石英坩埚高效清洗装置,包括清洗仓,所述清洗仓右侧的底部连通有排污管,所述清洗仓左侧的顶部固定连接有清洗剂存放仓,所述清洗仓的左侧固定安装有位于清洗剂存放仓底部的抽液泵,所述抽液泵的底部连通有与清洗仓左侧的底部连通的出液管。该石英坩埚高效清洗装置,通过将石英坩埚放置在挡环与三个橡胶球之间,然后启动顶部旋转电机,使转杆转动,使螺纹杆通过与第二螺纹通孔螺纹连接而向左侧移动,从而使三个连接杆分别拉动三个夹杆,使三个夹杆通过滑块与滑轨滑动连接而相互靠近,带动三个橡胶球相互靠近,直到三个橡胶球同时与石英坩埚接触,配合着挡环将石英坩埚夹持固定。
搜索关键词: 一种 石英 坩埚 高效 清洗 装置
【主权项】:
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