[发明专利]位移传感器、位移分析系统及分析方法在审
| 申请号： | 202010275104.9 | 申请日： | 2020-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN113295080A | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 张微成;周千松;周健军 | 申请（专利权）人： | 上海信朴臻微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 徐秋平 |
| 地址： | 200000 上海市徐*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种位移传感器、位移分析系统及分析方法，所述位移传感器包括：传感元件，包括由至少两个电感所组成的电感阵列；移动金属件，设置于所述传感元件的一侧，用于与所述传感元件发生相对移动；驱动与处理电路，与所述传感元件电连接，用于驱动所述传感元件产生LC振荡，并分析各电感的LC振荡幅度的差异。本发明提供了一种新的非接触式的位移计量方法，结构简单、安装方便，通过电感阵列与移动金属件发生相对移动时，导致电感阵列中不同位置的电感在LC振荡时受到的涡流与互感效应发生变化，从而引起不同电感在LC振荡幅度上的差异，并根据该差异检测移动金属件的移动信息。 | ||
| 搜索关键词： | 位移 传感器 分析 系统 方法 | ||
【主权项】：
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