[发明专利]一种带宽可调谐硅基滤波芯片有效
申请号: | 202010276600.6 | 申请日: | 2020-04-10 |
公开(公告)号: | CN111463530B | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 万晶;梁晓新 | 申请(专利权)人: | 昆山鸿永微波科技有限公司 |
主分类号: | H01P1/208 | 分类号: | H01P1/208;H01P1/203 |
代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 李猛 |
地址: | 215300 江苏省苏州市昆山市玉山*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种带宽可调谐硅基滤波芯片,包括:n个硅腔谐振单元,每个硅腔谐振单元包括上下依次设置的第一金属层、高阻硅介质层和第二金属层;槽线式双阻带谐振器,分布在单个硅腔谐振单元的第一金属层上或者一行上相邻两个硅腔谐振单元的第一金属层相接处,分别包括第一槽线和第二槽线,且第二槽线的一端与所述第一槽线的中点相接;可调谐元件,分布在第一金属层上,且分别与第一槽线和第二槽线的末端对应,所述可调谐元件包括但不限于单个单刀多掷开关芯片和多个单刀单掷封装开关。通过上述方式,本发明所述的带宽可调谐硅基滤波芯片,体积小,Q值高,损耗小,提高了带外抑制度,实现了硅基滤波芯片的带宽调谐功能。 | ||
搜索关键词: | 一种 带宽 调谐 滤波 芯片 | ||
【主权项】:
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